扫描探针显微术

自从1982年G. Binnig,等人制成世界上第一台扫描隧道显微镜以来，扫描探针显微术 (SPM)有了飞速的发展。一方面，新用途的扫描探针显微镜在不断的研制出，另一方面，原 有类型的扫描探针显微镜成本在大幅度下降，能为一般的科研机构所承受，进入了大规模的 应用阶段，极大的推动了相关学科的发展。本文将回顾扫描探针显微术的发展历史和各方面 的应用。