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i6Al4V合金氧离子注入样品表面形貌

Surface morphology of Ti6Al4V sample implanted with oxygen

中文摘要英文摘要

采用等离子体基离子注氧技术(O-PBII)对Ti6Al4V合金进行了表面改性处理,试验过程中注入负脉冲电压分别为10、20、30、40和50kV,离子注入过程中样品台通油冷却以实现低温注入。注入样品随后进行600℃真空和空气退火处理。采用光学显微镜和原子力显微镜对离子注入样品的表面形貌进行观察。结果表明,随着注入电压的升高,Ti6Al4V合金氧离子注入后样品表面颜色由浅黄逐渐变为深蓝色。氧离子注入使样品的表面更加光滑而平整,表面粗糙度均有不同程度的降低,30kV离子注入样品具有最低的表面粗糙度。退火处理使样品的表面粗糙度显著增加,空气中退火表面粗糙度增加最大。

i6Al4V alloy was modified by oxygen-plasma based ion implantation with the pulsed voltages of 儃10 kV, 儃20 kV, 儃30 kV, 儃40 kV and 儃50 kV, respectively. In order to maintain a lower implanting temperature, an oil cooling table was employed during implantation. Implanted samples were annealed at 600

马欣新、孙明仁、李金龙

材料科学金属学、热处理

i6Al4V合金氧离子注入表面形貌

Li Jinlong Ma Xinxin Sun Mingren

马欣新,孙明仁,李金龙.i6Al4V合金氧离子注入样品表面形貌[EB/OL].(2007-12-19)[2025-08-18].http://www.paper.edu.cn/releasepaper/content/200712-485.点此复制

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